LED TEM分析 發布時間:2024-11-14 11:34:30
透射電子顯微鏡TEM在LED芯片研究中可以提供有關LED芯片結構、膜層厚度、位錯缺陷等方面的詳細信息。金鑒實驗室具備先進的TEM設備和專業的技術團隊,能夠為客戶提供高精度的LED芯片分析服務,確保每一項測試結果的準確性和可靠性。不同類型的芯片結構在工藝設計上有所不同,金屬電極與外延各層成分分析與厚度測量常常需要通過TEM分析才能獲得更加精確的信息。
電極結構是為了讓電流順利流向發光區,不同電極材料結構同樣影響著芯片的光電性能,如Cr因優良的粘附性常用做與p-GaN的接觸層,Al具有高反射率,增加芯片的出光量,Ti/Pt作為阻擋層防止Au擴散高活潑性的Al層,Au優良的導電性作為表層等。金鑒實驗室可以針對各種電極材料進行詳細的性能測試與分析,幫助客戶優化其芯片設計。TEM線掃提供沿著一條線的元素分布信息,得到線上不同位置的元素種類和相對含量(at%和wt%),提供詳細的產品結構信息,為后續工藝優化或產品結構設計提供參照。
點掃用于獲取感興趣的局部區域(或精確的某個特定位置)的元素種類和相對含量信息。
在面掃模式下,面掃可以獲取整個區域的元素分布信息,直觀呈現不同區域各元素的分布與擴散情況。
TEM因其具有非常高分辨率,在LED芯片外延結構分析上具有獨到的優勢。金鑒實驗室擁有先進的高分辨率透射電子顯微鏡,能夠對外延整體結構進行分析,確定P型區、有源區、N型區各層成分與厚度。
TEM有多種成像模式,可以通過不同的成像模式獲取樣品的不同信息,金鑒實驗室利用高分辨電子顯微像HRTEM,能夠表征材料原子級別的形貌及結構信息,對量子阱結構厚度進行精確測量,幫助客戶在技術研發中把握關鍵參數。
弱束暗場像WBDF常用與對外延位錯的表征,分析位錯類型,結合腐蝕坑密度的方法,對外延位錯密度進行評估與表征。
g=0002 螺位錯觀察
g=11-20刃位錯觀察
金鑒實驗室是一家專注于LED產業的第三方檢測機構,致力于改善LED品質,服務LED產業鏈中各個環節,使LED產業健康發展。金鑒實驗室擁有專業LED質量工程師團隊及精密的儀器設備,通過金鑒實驗室的專業測試,客戶可以更有效地進行材料改進和工藝優化,為未來的技術創新打下堅實基礎。
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